超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體是什么？怎樣使用？

超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體又稱(chēng)感曼器(Susceptor)，是一種能在磁場(chǎng)中加熱的材料，通過(guò)感熱體的熱傳導(dǎo)或輻射來(lái)加熱其包容性工件。其主要用于無(wú)法直接用于感應(yīng)加熱的工件，如半導(dǎo)體工業(yè)中硅、鍺、砷化鎵、氧化鋯等的高溫加熱，也有一些金屬絲由于直徑過(guò)細(xì)，直接感應(yīng)加熱電效率過(guò)低，也可以用感熱體加熱。

 

石墨是制造超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體的常用材料，但石墨在高溫下容易氧化，因此應(yīng)在真空或環(huán)保環(huán)境中進(jìn)行。此外，感熱體可以由康奈合金、鉑、鉬、鎢和不銹鋼制成。

超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體有三種主要形式。熱傳感器將加熱部件和電磁場(chǎng)完全屏蔽，它依靠熱傳感器的輻射熱來(lái)加熱；熱傳感器沿長(zhǎng)度方向開(kāi)有縫隙，它既有直接來(lái)自感應(yīng)器的能量，又有來(lái)自感熱器的輻射熱；超音頻感應(yīng)加熱電源的熱傳感器是環(huán)形的，通常用于玻璃和玻璃或塑料之間的密封，在加熱過(guò)程中，玻璃或塑料與熱傳感器的接觸部分會(huì)軟化，加壓后，這個(gè)熱傳感器就成了一個(gè)整體。