超音頻感應加熱電源感熱體是什么?怎樣使用?
超音頻感應加熱電源感熱體又稱感曼器(Susceptor),是一種能在磁場中加熱的材料,通過感熱體的熱傳導或輻射來加熱其包容性工件。其主要用于無法直接用于感應加熱的工件,如半導體工業(yè)中硅、鍺、砷化鎵、氧化鋯等的高溫加熱,也有一些金屬絲由于直徑過細,直接感應加熱電效率過低,也可以用感熱體加熱。 石墨是制造超音頻感應加熱電源感熱體的常用材料,但石墨在高溫下容易氧化,因此應在真空或環(huán)保環(huán)境中進行。此外,感熱體可以由康奈合金、鉑、鉬、鎢和不銹鋼制成。
超音頻感應加熱電源感熱體有三種主要形式。熱傳感器將加熱部件和電磁場完全屏蔽,它依靠熱傳感器的輻射熱來加熱;熱傳感器沿長度方向開有縫隙,它既有直接來自感應器的能量,又有來自感熱器的輻射熱;超音頻感應加熱電源的熱傳感器是環(huán)形的,通常用于玻璃和玻璃或塑料之間的密封,在加熱過程中,玻璃或塑料與熱傳感器的接觸部分會軟化,加壓后,這個熱傳感器就成了一個整體。